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SPIN勻膠機POLOS

簡要描述:SPIN勻膠機POLOS450(英文名:Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜
詳細介紹:勻膠機(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
行業俗稱:勻膠臺、勻膠機、旋涂儀、涂膠機、鍍膜機、甩膠機

  • 產品型號:POLOS450
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2020-09-08
  • 訪  問  量:1625

詳細介紹

1、  SPIN勻膠機POLOS450勻膠機工作原理:

勻膠機(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。

2、SPIN勻膠機POLOS勻膠機型號及技術參數如下:

型號

SPIN150i

SPIN200i

POLOS300

POLOS450

POLOS600

基片范圍

直徑160mm or 4?方片

直徑260mm or 6?方片

直徑360mm or 8?方片

直徑460mm or 350mm方片

直徑600mm or 430mm方片

程序段數

無限制

無限制

無限制

無限制

30個程序

操作步數

無限制

無限制

無限制

無限制

90個步驟

旋轉速度

0-12,000 rpm ±1rpm steps

0-12,000 rpm ±1rpm steps

0-12,000 rpm ±1rpm steps

0-1500rpm ±1rpm steps

0-1,500 rpm ±1rpm steps

旋轉精度

±0.1 rpm

±0.1 rpm

±0.1 rpm

±0.1 rpm

±0.1 rpm

旋轉方向

順時針、逆時針、交換擺

順時針、逆時針、交換擺

順時針、逆時針、交換擺

順時針、逆時針、交換擺

順時針、逆時針

加速度

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

1500rpm時取決于負載

500 rpm/sec

旋轉時間

無限制*,± 0.1 seconds steps

無限制*,± 0.1 seconds steps

無限制*,± 0.1 seconds steps

無限制*,± 0.1 seconds steps

1 to 999 sec/step

腔體直徑

202 mm

302 mm

402 mm

502 mm

642mm

外形尺寸

(w*h*d )

274 x 250 x 451 mm

380 x 307 x 559mm

430 x 310 x 650mm

795 x 638 x 922mm

800 x 1,450 x 1,650mm

觸屏控制

全彩觸屏控制

全彩觸屏控制

全彩觸屏控制

全彩觸屏控制

全彩觸屏控制

設備重量

14Kg

20Kg

32Kg

75Kg

 

電源參數

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

三、勻膠機的特點:

1、該勻膠機采用德國先進技術:
2、勻膠機采用NPP天然聚丙烯材質構造設計,這種材質有很好的抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
3、勻膠機真空Chuck經精密加工制成,具有良好的光潔度及平整度,保證晶圓片被很好地吸附,主軸采用進口微型單列向心球軸承支撐,軸向有彈性墊及調整墊,可保障主軸具有較高的精度。
4、在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調節轉速調節涂覆厚度。
5、勻膠機腔體配備吹氮(N2)功能,或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調壓閥和節流閥實現調節,與配套真空泵一同使用。

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